[实用新型]高效率蒸发舟有效
申请号: | 201420461222.9 | 申请日: | 2014-08-15 |
公开(公告)号: | CN204080098U | 公开(公告)日: | 2015-01-07 |
发明(设计)人: | 丁磊;徐杰;杨玲;冯亚青;冯敏强;廖良生 | 申请(专利权)人: | 苏州方昇光电装备技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 陆明耀;陈忠辉 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种高效率蒸发舟,包括带有蒸发槽的导电陶瓷舟体,导电陶瓷舟体的横截面呈工形,由中心段与设置在中心段两端的连接段组成,蒸发槽开设于导电陶瓷舟体的中心段,导电陶瓷舟体两端的连接段上均连接有作导电电极用金属夹具,导电陶瓷舟体的中心段的两端面与连接段的两端面之间为距离设置,导电陶瓷舟体的中心段的底面与连接段的底面为距离设置。本实用新型的优点是:增加了蒸发槽处的电阻,提高了蒸发效率,降低了两端的温度。有效的降低了蒸发舟与金属夹具的接触电阻,防止蒸发舟因接触电阻过大而在接触处产生极端高温。 | ||
搜索关键词: | 高效率 蒸发 | ||
【主权项】:
高效率蒸发舟,包括带有蒸发槽的导电陶瓷舟体,其特征在于:所述导电陶瓷舟体的横截面呈工形,由中心段与设置在中心段两端的连接段组成,所述蒸发槽开设于导电陶瓷舟体的中心段,所述导电陶瓷舟体两端的连接段上均连接有作导电电极用金属夹具,所述导电陶瓷舟体的中心段的两端面与连接段的两端面之间为距离设置,所述导电陶瓷舟体的中心段的底面与连接段的底面为距离设置。
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