[实用新型]基于微谐振器的高精度温度测量系统有效
申请号: | 201420455223.2 | 申请日: | 2014-08-12 |
公开(公告)号: | CN204064504U | 公开(公告)日: | 2014-12-31 |
发明(设计)人: | 施芹;汤卫丰;夏国明;裘安萍;苏岩;丁衡高 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | G01K7/32 | 分类号: | G01K7/32 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱显国 |
地址: | 210094 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种基于微谐振器的高精度温度测量系统,包括微谐振器、驱动电路、测频电路和温度标定电路,微谐振器由双端固支音叉、平板电容和基底组成,驱动电路与微谐振器形成闭环回路,保证微谐振器产生稳定的振荡信号,测频电路测量随温度变化的信号频率,并通过温度标定电路,转化为当前环境温度值。本实用新型的微谐振器中,双端固支音叉采用平板电容驱动,灵敏度高,线性度好,具有非常高的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 基于 谐振器 高精度 温度 测量 系统 | ||
【主权项】:
一种基于微谐振器的高精度温度测量系统,其特征在于,包括微谐振器(200)、驱动电路(300)、测频电路(400)和温度标定电路(500),其中驱动电路(300)与微谐振器(200)构成闭环回路,驱动电路(300)的输出端与测频电路(400)的输入端相连,测频电路(400)的输出端与温度标定电路(500)的输入端相连;所述微谐振器(200)包括双端固支音叉(202)、平板电容和基底(210),其中双端固支音叉(202)和平板电容设置在基底(210)上。
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