[实用新型]化学品供应系统有效
| 申请号： | 201420454473.4 | 申请日： | 2014-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN204083814U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 王学利 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/14 | 分类号： | F17D1/14;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种化学品供应系统，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。 | ||
| 搜索关键词： | 化学品 供应 系统 | ||
【主权项】：
一种化学品供应系统，其特征在于，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。
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