[实用新型]一种蓝宝石表面检测仪主体结构有效
| 申请号： | 201420451657.5 | 申请日： | 2014-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN204142202U | 公开（公告）日： | 2015-02-04 |
| 发明（设计）人： | 胡荣杰;唐旭;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/06;G01B11/24;G01B11/00 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 金祺 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面(5)和立柱(10)构成的支架；所述立柱(10)上设置有光学头(12)；所述光学头(12)的下方设置有测量盘(1)；所述下台面(5)设置有滑轨(4)，所述滑轨(4)上设置有滑块(3)，所述滑块(3)上设置有轴承座(2)，所述轴承座(2)上设置有轴承(9)；所述轴承(9)与测量盘(1)的中心固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 表面 检测 主体 结构 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面(5)和立柱(10)构成的支架；所述立柱(10)上设置有光学头(12)；其特征是：所述光学头(12)的下方设置有测量盘(1)；所述下台面(5)设置有滑轨(4)，所述滑轨(4)上设置有滑块(3)，所述滑块(3)上设置有轴承座(2)，所述轴承座(2)上设置有轴承(9)；所述轴承(9)与测量盘(1)的中心固定连接。
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