[实用新型]基于液晶空间光调制器非球面计算全息干涉检测装置

摘要

基于液晶空间光调制器非球面计算全息干涉检测装置，涉及一种计算全息干涉检测装置。其包括数字相移干涉仪(1)、标准平面参考镜(2)、光阑(3)、分光镜(4)、扩束准直镜(5)、零位补偿透镜(6)、偏振片(8)和液晶空间光调制器(9)。该装置能够解决光学全息片加工周期长、加工成本高以及灵活性差的问题；并能克服单纯采用数字相移干涉仪只能测量浅度非球面的问题。本实用新型将数字相移干涉仪与液晶空间光调制器相结合，又引入零位补偿镜，通过双光路干涉原理，实现非球面的计算全息干涉计量。液晶空间光调制器加载全息图的实时性可满足非球面的在线检测。本实用新型适用于小尺度非球面反射镜的计算全息干涉检测。

主权项

基于液晶空间光调制器非球面计算全息干涉检测装置，其特征是：它包括数字相移干涉仪(1)、标准平面参考镜(2)、光阑(3)、分光镜(4)、扩束准直镜(5)、零位补偿透镜(6)、偏振片(8)和液晶空间光调制器(9)；数字相移干涉仪(1)发出的激光经所述标准平面参考镜(2)透射和光阑(3)缩束后，入射至分光镜(4)，经所述分光镜(4)分束成透射光和反射光，所述透射光经扩束准直镜(5)扩束和零位补偿透镜(6)聚焦后入射至待检非球面镜(7)，并经待检非球面镜(7)反射形成测试光，所述测试光经零位补偿透镜(6)和扩束准直镜(5)，返回至分光镜(4)；所述反射光经所述偏振片(8)入射至液晶空间光调制器(9)，经液晶空间光调制器(9)调制获得参考光；所述参考光经偏振片(8)返回至分光镜(4)；所述测试光与参考光发生干涉，形成干涉光，所述干涉光经光阑(3)和标准平面参考镜(2)，返回至数字相移干涉仪(1)的成像系统。