[实用新型]曝光机有效

专利信息
申请号: 201420439518.0 申请日: 2014-08-06
公开(公告)号: CN204086810U 公开(公告)日: 2015-01-07
发明(设计)人: 周坤麟;何立克 申请(专利权)人: 叙丰企业股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 代理人: 宋菲;刘云贵
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型公开了一种曝光机,其机箱具有控制器,可动发光机台具有发光源及移动装置,第一感光基板升降机台位于两底片固定机台之间,两感光基板搬移机台分别在感光基板接收机台及第一感光基板升降机台之间搬移感光基板,及在第一感光基板升降机台及感光基板退出机台之间搬移感光基板,发光源设于移动装置并借由反射镜反射光线至第一感光基板升降机台上的感光基板。借此,本实用新型的曝光机可自动对感光基板的正面与反面曝光且可连续放置感光基板以进行曝光。
搜索关键词: 曝光
【主权项】:
一种曝光机,其特征在于,包含:机箱,其具有一控制器;感光基板接收机台,其设置于该机箱且电连接该控制器;感光基板退出机台,其设置于该机箱且电连接该控制器;两底片固定机台,皆设置于该机箱内;第一感光基板升降机台,其设置于该机箱内且电连接该控制器,该第一感光基板升降机台位于这些底片固定机台之间;两感光基板搬移机台,皆设置于该机箱内且电连接该控制器,这些感光基板搬移机台分别用以于该感光基板接收机台及该第一感光基板升降机台之间搬移一感光基板,及于该第一感光基板升降机台及该感光基板退出机台之间搬移一感光基板;两反射镜,皆设置于该机箱内且分别位于这些底片固定机台的两侧;以及可动发光机台,其设置于该机箱内且电连接该控制器,该可动发光机台具有至少一发光源及一移动装置,该发光源设置于该移动装置并用以借由反射镜反射光线至该第一感光基板升降机台上的感光基板。
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