[实用新型]拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场有效
| 申请号： | 201420426638.7 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN204125562U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 沈杨宇;韩建超;徐新华 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场，其特征在于，包括筒体；所述筒体具有筒腔；所述筒体上端设置有上盖；所述上盖可打开地设置；所述筒腔内设置有坩埚；围绕坩埚设置有保温装置，保温筒内设置有加热器，加热器围绕坩埚设置，坩埚上方设置有导流筒。本实用新型中的拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场，能耗可以降低降低32％以上；成晶率可提高5％以上；单晶氧含量可降低。 | ||
| 搜索关键词： | 拉制 轻掺硼单晶晶棒 封闭式 | ||
【主权项】：
拉制轻掺硼单晶晶棒的封闭式热场，其特征在于，包括筒体；所述筒体具有筒腔；所述筒体上端设置有上盖；所述上盖可打开地设置；所述筒腔内设置有坩埚；围绕坩埚设置有保温装置，保温筒内设置有加热器，加热器围绕坩埚设置，坩埚上方设置有导流筒。
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