[实用新型]一种减压扩散炉炉口密封装置

摘要

本实用新型公开了一种减压扩散炉炉口密封装置。所述减压扩散炉炉口密封装置包括设置在炉门一端与石英管端面贴合的石英板，在石英板外侧设有背板，该背板与石英板之间为筒状外壳，在筒状外壳、背板和石英板围成的空间内填充有隔热元件；所述石英管管口套装有密封法兰，在密封法兰与背板内侧面之间设有一级密封结构，所述石英板与石英管端面形成二级密封；所述一级密封结构与外壳、密封法兰、背板内侧面之间形成过渡密封腔。本实用新型的装置形成一个过渡腔，在过渡腔内充保护气体，防止负压工艺污染。

主权项

 一种减压扩散炉炉口密封装置，其特征在于，包括设置在炉门一端与石英管（15）端面贴合的石英板（8），在石英板（8）外侧设有背板（3），该背板（3）与石英板（8）之间为筒状外壳（2），在筒状外壳（2）、背板（3）和石英板（8）围成的空间内填充有隔热元件；所述石英管（15）管口套装有密封法兰（9），在密封法兰（9）与背板（3）内侧面之间设有一级密封结构，所述石英板（8）与石英管（15）端面形成二级密封；所述一级密封结构与外壳（2）、密封法兰（9）、背板（3）内侧面之间形成过渡密封腔（6）。