[实用新型]一种靶极测试真空腔体有效
| 申请号： | 201420378604.5 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN203960323U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 霍凯;陈宥廷;李玉;徐全献 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215011 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种靶极测试真空腔体，包括：方形腔体（1），其前侧侧壁设置玻璃视窗安装口（2），并在所述玻璃视窗安装口（2）内安装视窗玻璃（3），所述方形腔体（1）的左右两侧分别设置一个真空接口（4）；方形法兰（5），其焊接在所述方形腔体（1）的上方开口处，所述方形法兰（5）的内侧设置一密封圈安装槽（6）。所述靶极测试真空腔体能够确保靶极在上机前就得到准确的合格确认，缩短了确认时间，减少误判，且测试过程简易，缩短了工时。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 空腔 | ||
【主权项】：
一种靶极测试真空腔体，其特征在于，包括：方形腔体（1），其前侧侧壁设置玻璃视窗安装口（2），并在所述玻璃视窗安装口（2）内安装视窗玻璃（3），所述方形腔体（1）的左右两侧分别设置一个真空接口（4）；方形法兰（5），其焊接在所述方形腔体（1）的上方开口处，所述方形法兰（5）的内侧设置一密封圈安装槽（6）。
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