[实用新型]一种氯硅烷尾气湿法洗涤装置有效
| 申请号： | 201420324828.8 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN203916447U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 周奇;李斌;甘居富;汪云清 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/68 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 冉鹏程 |
| 地址： | 614899 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氯硅烷尾气湿法洗涤装置，涉及多晶硅行业的含氯硅烷和氯化氢的工艺尾气湿法水解装置，属于多晶硅废弃物处理领域。本实用新型的主要内容就是在采用两级文丘里洗涤器串联的形式对工艺尾气中的待处理组分如：氯硅烷、氯化氢等进行吸收。本实用新型洗涤效果非常好，在洗涤器中气液接触非常充分，废气中大部分氯硅烷和氯化氢在文丘里中都被吸收。文丘里洗涤器的体积较小，两级文丘里洗涤器的洗涤流程较双塔串联淋洗塔的投资要小的多。文丘里喉管处的流速非常快，氯硅烷水解产物不容易堆积堵塞，较双塔串联淋洗塔相比，连续操作时间大大延长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 尾气 湿法 洗涤 装置 | ||
【主权项】：
一种氯硅烷尾气湿法洗涤装置，包括密封水槽，其特征在于：所述密封水槽内部设置有隔板（1），所述隔板（1）将密封水槽分为一级淋洗槽（2）和二级淋洗槽（3）；所述一级淋洗槽（2）上设置有一级文丘里洗涤器（4）和废气出口（6）；所述二级淋洗槽（3）上设置有二级文丘里洗涤器（5）和排放口（7）；所述二级文丘里洗涤器（5）通过管道与一级淋洗槽（2）的废气出口（6）连接在一起。
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