[实用新型]一种微细沟槽超精密加工机床

摘要

本实用新型涉及一种微细沟槽超精密加工机床，特别是一种集成了刀具刃磨装置的微细沟槽超精密加工机床，该机床主要应用于LCD光学导光板表面微槽加工，具有空气弹簧的大理石床身上装有Y轴滑台，Y轴滑台上设有Z轴滑台，Z轴滑台装有Z轴电机和金刚石刀具。X轴滑台上设置有真空吸盘，CCD镜头以及刀具刃磨主轴。本实用新型在单台床体上集成在位刀具刃磨装置和高倍CCD镜头检测装置，结合检测装置和刀具再刃磨装置，实现了刀具的在位刃磨，有效地减少了刀具装夹引起的加工误差，提高了加工效率和加工精度。

主权项

一种微细沟槽超精密加工机床，其特征在于：包括床身底座（8）、固定在床身底座（8）上表面四角位置的空气弹簧（9）、安装在空气弹簧（9）上的大理石床身（12）、安装在大理石床身（12）上表面且互相垂直的Y轴滑台（1）和X轴滑台（13）、设置在Y轴滑台（1）上的Z轴滑台（4），其中：所述X轴滑台（13）上后侧设有用于装夹工件的真空吸盘（6）、前侧设有刀具刃磨主轴（10），并通过直线电机的电磁推力实现X轴前后往复移动，所述真空吸盘（6）右侧设有CCD镜头（7）；所述Z轴滑台（4）上设有Z轴电机（2）、Z轴减速机（3）和金刚石刀具（5），金刚石刀具（5）通过滚珠丝杆实现Z轴上下往复移动，并通过刀具刃磨主轴（10）实现在线刃磨；所述Y轴滑台（1）通过直线电机的电磁推力实现Y轴左右往复移动；所述的X轴滑台（13）、Y轴滑台（1）、Z轴滑台（4）通过伺服驱动单元（11）驱动控制。