[实用新型]激光微米级厚度测量仪

摘要

激光微米级厚度测量仪，激光发射器发射的激光束斜向对着测量台板上的待测镜片，待测镜片反射出来的激光束经过高精度物镜后对着CCD图像传感器的摄像镜头；CCD图像传感器产生的测量数字信号输送给微电脑，微电脑控制显示器显示，微电脑电连接有按键电路；测量台板置于底座平台的上方，升降支架一端与测量台板固定在一起、另一端与齿条固定在一起，升降支架插套在导轨支架上，导轨支架与箱形支架和底座平台固定在一起，升降旋扭铰接在箱形支架上，升降旋扭上固定有蜗杆，蜗杆与蜗轮相啮合，蜗轮与齿条相啮合。它在测量过程中，减少操作人员对镜片的接触，通过非接触式高频激光反射方式测量平面镜片厚度、平面度、平行度以及间隙。 

主权项

激光微米级厚度测量仪，包括激光发射器(1)和CCD图像传感器(2)和微电脑(3)，其特征在于：在底座平台(6)上固定有箱形支架(7)，箱形支架(7)上固定有传感器支架(8)，传感器支架(8)上固定有激光发射器(1)、CCD图像传感器(2)和高精度物镜(9)，显示器(4)、微电脑(3)和按键电路(5)固定在箱形支架(7)上；    激光发射器(1)发射的激光束斜向对着测量台板(10)上的待测镜片，待测镜片反射出来的激光束经过高精度物镜(9)后对着CCD图像传感器(2)的摄像镜头；CCD图像传感器(2)产生的测量数字信号输送给微电脑(3)，微电脑(3)控制显示器(4)显示，微电脑(3)电连接有按键电路(5)；测量台板(10)置于底座平台(6)的上方，升降支架(11)一端与测量台板(10)固定在一起、另一端与齿条(12)固定在一起，升降支架(11)插套在导轨支架(13)上，导轨支架(13)与箱形支架(7)和底座平台(6)固定在一起，升降旋扭(14)铰接在箱形支架(7)上，升降旋扭(14)上固定有蜗杆(15)，蜗杆(15)与蜗轮(16)相啮合，蜗轮(16)与齿条(12)相啮合。