[实用新型]一种硼扩散炉防止粘连的反应气自热炉门

摘要

本实用新型公开了一种硼扩散炉防止粘连的反应气自热炉门，包括有换热盘管、热电偶和温度巡检仪，所述换热盘管位于靠近炉门内壁处，换热盘管的一端设置于扩散炉抽排的出气管端，换热盘管的另一端连接到真空泵；所述热电偶设置于换热盘管的附近，测温点设置于换热管盘附近；所述热电偶的信号线穿过炉门连接至硼扩散炉外部的温度巡检仪；本实用新型通过换热盘管的结构借助硼扩散工艺中的排出气体实现炉门的自热，使炉门温度保持在BSG熔点以上，并通过温度巡检仪有效监测盘管温度，从而有效解决了工艺过程中石英炉门与炉管粘连的问题，大大延长了扩散炉的使用寿命，提高了生产效率。

主权项

一种硼扩散炉防止粘连的反应气自热式炉门，其特征在于：包括有换热盘管（7）、热电偶（6）和温度巡检仪（10），所述换热盘管（7）位于靠近炉门内壁处，换热盘管（7）的一端设置于扩散炉抽排的出气管端，换热盘管（7）的另一端连接到真空泵（11）；所述热电偶（6）设置于换热盘管（7）的附近，测温点置于换热管盘附近；所述热电偶（6）的信号线（9）穿过炉门连接至硼扩散炉外部的温度巡检仪（10）。