[实用新型]用于镀膜的液压提拉装置有效
申请号: | 201420214190.2 | 申请日: | 2014-04-29 |
公开(公告)号: | CN203794986U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 吴素娟;孙建国;折鹏程;洪昶;杨梦雅 | 申请(专利权)人: | 重庆大学 |
主分类号: | C23C20/00 | 分类号: | C23C20/00 |
代理公司: | 重庆华科专利事务所 50123 | 代理人: | 康海燕 |
地址: | 400030 *** | 国省代码: | 重庆;85 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于镀膜的液压提拉装置,其包括安装座和置于安装座上的密封罩,密封罩为具有密封盖的透明罩,密封盖的下底面固定有基片夹持装置,在密封罩内设置有与基片夹持装置对应的提拉针筒,所述提拉针筒具有活塞和活塞推杆,所述提拉针筒的针孔部朝下且固定在安装座中,所述提拉针筒的活塞推杆上端固定有溶胶烧杯;在密封罩外的安装座上还固定有注水针筒,所述注水针筒具有活塞和活塞推杆,所述注水针筒的针孔部与提拉针筒的针孔部通过软管连通,所述软管与一输水管的一端连接;在所述软管和输水管上分别设置一个节流阀,在两节流阀之间的输水管上设置一个调速阀。本方案解决了现有装置基片易抖动的问题。 | ||
搜索关键词: | 用于 镀膜 液压 装置 | ||
【主权项】:
在一种用于镀膜的液压提拉装置,包括安装座(20)和置于安装座(20)上的密封罩(1),所述密封罩(1)为具有密封盖(2)的透明罩,所述密封盖(2)的下底面固定有基片夹持装置(19);其特征在于:在密封罩(1)内设置有与基片夹持装置(19)对应的提拉针筒(10),所述提拉针筒(10)具有活塞和活塞推杆,所述提拉针筒(10)的针孔部朝下且固定在安装座(20)中,所述提拉针筒(10)的活塞推杆上端固定有溶胶烧杯(17);在密封罩(1)外的安装座(20)上还固定有注水针筒(15),所述注水针筒(15)具有活塞和活塞推杆,所述注水针筒(15)的针孔部与提拉针筒(10)的针孔部通过软管连通,所述软管与一输水管(6)的一端连接;在所述软管和输水管(6)上分别设置有一个节流阀,在两节流阀之间的输水管(6)上设置一个调速阀(12)。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体,例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
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