[实用新型]一种OLED面光源专用的改进型ITO镀膜生产设备有效
| 申请号： | 201420201940.2 | 申请日： | 2014-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN203834013U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 马恩高 | 申请（专利权）人： | 马恩高 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/54;H01L51/56 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 翁霁明 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种OLED面光源专用的改进型ITO镀膜生产设备，它主要包括一真空腔体系统和一控制系统；所述的真空腔体系统由装卸片台、进出片室、镀膜室、缓冲室依次连通组成，所述装卸片台与进出片室、进出片室与工艺腔体的连接处均设有插板阀；所述的镀膜室由减反射层工艺腔体和Si工艺腔体和ITO工艺腔体三个工艺腔体构成；所述的镀膜室设有侧面维修门、镀膜阴极、工艺气体系统及位置传感器；所述的镀膜阴极设在所述的侧面维修门上；所述的真空腔体系统内部设有基底传送机构；所述的控制系统主要由PLC构成；它能够在现有ITO镀膜模块上进行改造，具有操作简单、成本优势明显等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 oled 光源 专用 改进型 ito 镀膜 生产 设备 | ||
【主权项】：
一种OLED面光源专用的改进型ITO镀膜生产设备，它主要包括一真空腔体系统和一控制系统；其特征在于所述的真空腔体系统（1）由装卸片台（11）、进出片室（12）、镀膜室（13）、缓冲室（14）依次连通组成，所述装卸片台（11）与进出片室（12）、进出片室（12）与工艺腔体（13）的连接处均设有插板阀（15）；所述的镀膜室（13）由减反射层工艺腔体（131）和Si工艺腔体（132）和ITO工艺腔体（133）三个工艺腔体构成；所述的镀膜室（13）设有侧面维修门、镀膜阴极、工艺气体系统及位置传感器；所述的镀膜阴极设在所述的侧面维修门上；所述的真空腔体系统（1）内部设有基底传送机构；所述的控制系统（2）主要由PLC构成。
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