[实用新型]一种镀膜机有效
| 申请号： | 201420169053.1 | 申请日： | 2014-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN203999793U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 林楚兴 | 申请（专利权）人： | 广东光耀玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18 |
| 代理公司： | 汕头市南粤专利商标事务所(特殊普通合伙) 44301 | 代理人： | 林逸平 |
| 地址： | 515000 广东省汕头*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜设备，尤其涉及一种玻璃镀膜机。本实用新型为一种镀膜机，其主要包括溅射室、阳极遮挡板、溅射靶，溅射靶旁边安装有辅助阳极，溅射靶在周围覆盖一层阳极遮挡板，所述的溅射室两侧分别设置气口，气口分别安装设置有流量控制器，在气口通过输送管连接储气管，溅射室内壁同样安装有阳极遮挡板。本实用新型的有益效果是：有效避免二次污染，提高了产品合格率和生产量，最大程度优化镀膜效果，并且可实现气体流量的微调，降低了人工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【主权项】：
一种镀膜机，其主要包括溅射室（1）、阳极遮挡板（3）、溅射靶（4），溅射靶（4）旁边安装有辅助阳极（2），其特征在于：溅射靶（4）在周围覆盖一层阳极遮挡板（3）；溅射室（1）两侧分别设置气口（5），气口（5）分别安装设置有流量控制器（61），气口5通过输送管（51）连接储气管（6）；溅射室（1）内壁（8）同样安装有阳极遮挡板（3）。
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