[实用新型]旋转阴极的排水装置有效

专利信息
申请号: 201420111949.4 申请日: 2014-03-12
公开(公告)号: CN203715719U 公开(公告)日: 2014-07-16
发明(设计)人: 杨元才;褚家宝;韩子水;谭新;钱彭亮 申请(专利权)人: 上海福宜真空设备有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201821 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型涉及一种旋转阴极的排水装置,包含水路循环轴,水路循环轴的内部包含第一进水通道和第二进水通道构成的中空结构;其中,第二进水通道的开口直径大于第一进水通道的开口直径,且第二进水通道包含头段和尾段,头段的开口直径小于尾段的开口直径。还包含:设置在循环轴第二进水通道内的弹簧、与弹簧连接的密封板和位于密封板下方的出水器壳体、贯穿出水器壳体并抵住密封板的螺栓;出水器壳体内具有一个与第二进水通道连通的出水通道。同现有技术相比,换靶时,只需将螺栓从出水器壳体内逐渐旋进,并推动密封板向上运动使得密封板与出水器壳体分离,使得靶筒内的水可通过第一和第二进水通道后从出水通道排出,即完成整个换靶时的排水过程。
搜索关键词: 旋转 阴极 排水 装置
【主权项】:
一种旋转阴极的排水装置,其特征在于:包含水路循环轴,所述水路循环轴的内部包含一个由第一进水通道和第二进水通道构成的中空结构;其中,所述第二进水通道的开口直径大于所述第一进水通道的开口直径,且所述第二进水通道包含一个头段和一个尾段,所述头段的开口直径小于所述尾段的开口直径;所述旋转阴极的排水装置还包含:设置在所述循环轴第二进水通道内的弹簧、与所述弹簧连接的密封板和位于所述密封板下方并固定在所述第二进水通道尾段的出水器壳体、贯穿所述出水器壳体并抵住密封板的螺栓;其中,所述弹簧插入所述第二进水通道内并抵住第二进水通道头段的端面;所述密封板位于所述第二进水通道的尾段,且所述密封板的直径与所述第二进水通道尾段开口的直径大小相匹配;所述出水器壳体具有一个与所述第二进水通道连通的出水通道。
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