[实用新型]一种单晶炉排气管道疏通装置有效
申请号: | 201420109254.2 | 申请日: | 2014-03-12 |
公开(公告)号: | CN203820930U | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 张学强;黄永恩;范全东;路鹏 | 申请(专利权)人: | 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B15/00 |
代理公司: | 石家庄冀科专利商标事务所有限公司 13108 | 代理人: | 李羡民;周晓萍 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种单晶炉排气管道疏通装置,其技术方案是,它设置在单晶炉的排气管道下部,所述装置由分别位于各排气管道下部的清理机构组成,各套相同结构的清理机构分别包括波纹管、清理盘和相互对接的上连接法兰、下连接法兰,所述各排气管道的底部固接上连接法兰,下连接法兰固接波纹管上端,清理盘下端设有冲击杆,冲击杆位于波纹管内,清理盘位于上、下连接法兰的中心孔内;所述波纹管下端固接波纹管连接法兰,波纹管连接法兰下部固接封闭法兰。本实用新型在单晶炉生产过程中一旦发现排气不畅,可以随时驱动连接清理盘的冲击杆上下运动,松动排气管道内的挥发物,使挥发物随抽气排出,防止挥发物堵塞排气管道。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 排气 管道 疏通 装置 | ||
【主权项】:
一种单晶炉排气管道疏通装置,其特征在于:它设置在单晶炉的排气管道下部,所述装置由分别位于各排气管道下部的清理机构组成,各套相同结构的清理机构分别包括波纹管(5)、清理盘(6)和相互对接的上连接法兰(3)、下连接法兰(4),所述各排气管道(2)的底部固接上连接法兰,下连接法兰固接波纹管上端,清理盘下端设有冲击杆,冲击杆位于波纹管内,清理盘位于上、下连接法兰的中心孔内;所述波纹管下端固接波纹管连接法兰(9),波纹管连接法兰下部固接封闭法兰(10)。
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