[实用新型]一种纳米探针存放装置有效
| 申请号： | 201420103454.7 | 申请日： | 2014-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203767320U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张琦;赖李龙 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B65D85/24 | 分类号： | B65D85/24;B65D81/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种纳米探针存放装置，通过探针容器的结构设计，提高了探针的存放的稳固性及取放的便捷性；通过将探针容器放置于真空袋中，保证了探针容器的洁净度，避免外界空气与探针接触对其造成的污染。从而改善了现有技术在使用完探针进行存放时，由于受外界环境及固定效果不佳等因素的影响，致使探针被污染或变形而无法进行重复使用的情况，节约了资源，减少了产业额外的开销。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 探针 存放 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米探针存放装置，其特征在于，包括：真空袋及设置于所述真空袋中的探针容器；其中，所述探针容器包括：腔体、与所述腔体的一端连接的底座、与所述腔体的另一端连接的塞子、以及设置于所述腔体中的探针存放部件；其中，所述探针存放部件能够在所述底座的推动下，在所述腔体中作升降运动。
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