[实用新型]一种大口径薄片元件抛光夹具有效
申请号: | 201420092301.7 | 申请日: | 2014-03-03 |
公开(公告)号: | CN203696747U | 公开(公告)日: | 2014-07-09 |
发明(设计)人: | 赵惠英;王文博;赵则祥;强艳鑫;高强;刘孟奇;马江涛;仇文全 | 申请(专利权)人: | 北京微纳精密机械有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 100102 北京市朝阳区望京新*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种大口径薄片元件抛光夹具,包括基座,所述基座设有若干沉孔,每个沉孔均插接有压头,压头与基座之间设有压头固定片,基座的底部设有元件,压头与元件连接,压头套装有调节压块,调节压块设置在压头固定片上,基座上设有固定架,固定架与元件通过元件固定架连接。本实用新型在抛光过程中,通过调整调节压块数量控制元件背面各区域不同压力,实现元件表面不等量去除,提高元件整个表面的面形精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 口径 薄片 元件 抛光 夹具 | ||
【主权项】:
一种大口径薄片元件抛光夹具,包括基座,其特征在于:所述基座设有若干沉孔,每个沉孔均插接有压头,压头与基座之间设有压头固定片,基座的底部设有元件,压头与元件连接,压头套装有调节压块,调节压块设置在压头固定片上,基座上设有固定架,固定架与元件通过元件固定架连接。
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