[实用新型]一种CUSP磁场发生装置有效
申请号: | 201420085378.1 | 申请日: | 2014-02-27 |
公开(公告)号: | CN203746601U | 公开(公告)日: | 2014-07-30 |
发明(设计)人: | 傅林坚;欧阳鹏根;汤承伟;曹建伟;朱亮 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司;杭州慧翔电液技术开发有限公司 |
主分类号: | H01F5/00 | 分类号: | H01F5/00;H01F41/04;C30B30/04 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及非金属晶体的制造设备,旨在提供一种CUSP磁场发生装置,包括屏蔽体、置于屏蔽体内的线圈、支撑块和置于屏蔽体外水冷器;所述屏蔽体包括圆柱形筒体和设置在圆柱形筒体上下端的环形端盖;所述上线圈和下线圈均采用相同尺寸的铜管密绕而成,相邻铜管之间均设置绝缘板;所述上线圈和下线圈之间、下线圈和屏蔽体之间均设有支撑块;该磁场磁力线分布为轴对称,晶棒的轴向径向均匀性得到保证;在拉晶面上纵向磁场基本为零,不会影响氧的蒸发;在坩埚壁上磁场基本与之垂直,可以减少坩埚的溶解;在其他大部分区域有着较强的轴向和径向磁场,能够有效的抑制热对流。 | ||
搜索关键词: | 一种 cusp 磁场 发生 装置 | ||
【主权项】:
一种CUSP磁场发生装置,包括屏蔽体,其特征在于,还包括置于屏蔽体内的线圈、支撑块和置于屏蔽体外水冷器;所述屏蔽体包括圆柱形筒体和设置在圆柱形筒体上下端的环形端盖;所述线圈包括上线圈和下线圈,所述上线圈和下线圈均采用相同尺寸的铜管密绕而成,相邻铜管之间均设置绝缘板;所述上线圈和下线圈之间、下线圈和屏蔽体之间均设有支撑块,起支撑作用;所述置于屏蔽体外水冷器是用以控制上线圈、下线圈的温度不超过60℃和屏蔽体的温度不超过45℃。
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