[实用新型]一种机台管路进水的侦测报警装置有效
| 申请号： | 201420084195.8 | 申请日： | 2014-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN204036232U | 公开（公告）日： | 2014-12-24 |
| 发明（设计）人： | 宋恺;张弢;蒋德念 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;G01F15/06 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种机台管路进水的侦测报警装置，应用于机台上部充气装置的真空管路中，其中，包括：研磨头，所述研磨头可升降地与一马达连接；气阀，所述气阀安装在所述马达的上端；抽真空管路，所述抽真空管路与所述气阀相连接；以及流量侦测器，所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。使用本实用新型一种机台管路进水的侦测报警装置，当Vac管路中有水滴进入，流量侦测器发出“on”信号以触发机台端报警，以便让工程师知道清楚进水的Vac管路，及时处理，避免机台的隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 管路 进水 侦测 报警装置 | ||
【主权项】：
一种机台管路进水的侦测报警装置，应用于机台上部充气装置的真空管路中，其特征在于，包括： 研磨头，所述研磨头可升降地与一马达连接； 气阀，所述气阀安装在所述马达的上端； 抽真空管路，所述抽真空管路与所述气阀相连接；以及 流量侦测器，所述流量侦测器安装在所述抽真空管路的管壁外，并且所述流量侦测器与一外置机台信号连接。
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