[实用新型]光电倍增管和包含其的传感器模块

摘要

本实施方式所涉及的光电倍增管具备内部被维持为真空状态的密闭容器、以及容纳在该密闭容器的电子倍增单元，密闭容器以高温、高压环境下的使用为前提，其一部分由陶瓷侧管构成。该光电倍增管为了使耐振性提高，还具备用于固定于电子倍增单元相对于密闭容器的设置位置的构造。

主权项

一种光电倍增管，其特征在于，具备：密闭容器，内部被维持为规定的真空状态，包含沿着该密闭容器的第1管轴依次配置的第1陶瓷侧管和第2陶瓷侧管；光电阴极，被容纳在所述密闭容器内，响应于规定波长的光而在所述密闭容器内放出光电子；电子倍增单元，被容纳在所述密闭容器内，具备：倍增极单元，响应于从所述光电阴极到达的光电子而放出二次电子并包括将所述二次电子依次级联倍增的多级倍增极；阳极，将被所述倍增极单元级联倍增了的二次电子作为信号取出；一对绝缘性支撑部件，在把持所述倍增极单元和所述阳极的状态下，一体地保持所述倍增极单元和所述阳极；以及聚焦电极，在固定于所述一对绝缘性支撑部件的状态下配置在所述光电阴极与所述倍增极单元之间，具有用于通过来自所述光电阴极的光电子的贯通孔；以及固定部件，具有用于规定所述聚焦电极的设置位置的开口、规定所述开口的内侧端部、以及围绕所述内侧端部的外侧端部，通过所述第1陶瓷侧管和所述第2陶瓷侧管把持所述外侧端部而固定在所述密闭容器，而位于所述密闭容器内的所述内侧端部固定在所述聚焦电极。