[发明专利]一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法在审
| 申请号： | 201410850071.0 | 申请日： | 2014-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN104597757A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 田艳兵 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法，步骤包括：对波纹管驱动平台PI模型进行参数识别；采用S1中得出的PI逆模型前馈控制复合反馈控制进行复合控制；建立执行机构的蠕变模型；根据所述PI逆模型及蠕变模型建立基于PI模型的蠕变补偿方案，使用本发明提供的一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法，通过建立有效的控制方案，波纹管控制精度达到了亚微米级，满足超精密定位的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波纹管 驱动 定位 平台 建模 补偿 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种波纹管驱动定位平台蠕变建模与补偿控制方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：对波纹管驱动平台PI迟滞模型进行参数识别；S2：采用S1中得出的PI迟滞模型的逆模型涉及前馈控制复合控制方案，通过PI迟滞逆模型将系统线性化，复合反馈进行控制；S3：建立波纹管驱动机构的蠕变模型；S4：根据所述PI逆模型及蠕变模型建立基于PI模型的蠕变补偿方案。
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