[发明专利]一种用于深紫外光刻的激光准直扩束系统在审
| 申请号： | 201410837282.0 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN104516117A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李小平;陈权;雷敏;章伟 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30;G02B27/09;G02B1/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 梁鹏 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于深紫外光刻的激光准直扩束系统，包括第一柱面镜、第二柱面镜、平面反射镜和球面镜，其中球面镜分别与第一柱面镜和第二柱面镜组成两个准直扩束器，用于对激光器发射出的激光光束进行准直扩束；激光光束依次经过第一柱面镜和第二柱面镜，接着再被平面反射镜反射，然后再经过球面镜被送入传输光路，最终进入光刻机的光源输入口。本激光准直扩束系统较之其他方式结构更为紧凑，适用于安装集成，可以适应不同的传输距离，对距离调节的精度要求不高，通过简单的调节装置即可实现，使用方便且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 深紫 光刻 激光 准直扩束 系统 | ||
【主权项】：
一种用于深紫外光刻的激光准直扩束系统，其特征在于，包括第一柱面镜、第二柱面镜、平面反射镜和球面镜，其中所述球面镜分别与第一柱面镜和第二柱面镜组成两个准直扩束器，用于对激光器发射出的激光光束进行准直扩束；所述激光光束依次经过所述第一柱面镜和第二柱面镜，接着再被所述平面反射镜反射，然后再经过所述球面镜被送入传输光路，最后进入光刻机的光源输入口；其中当以激光光束中心光束的传播方向为Z轴正方向，建立笛卡尔直角坐标系，则，所述第一柱面镜光焦度在X方向且为负，用于在X轴方向上发散所述激光光束；所述第二柱面镜光焦度在Y方向且为负，用于在Y轴方向上发散所述激光光束；所述平面反射镜用于反射所述激光光束；所述球面镜的光焦度为正，用于在X轴和Y轴两个方向上准直所述激光光束。
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