[发明专利]一种光配向掩膜板对位的检测方法在审
| 申请号： | 201410828551.7 | 申请日： | 2014-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN104536259A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 黄秋蓉 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/44 | 分类号： | G03F1/44;G03F1/42;G02F1/1337 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 210033 江苏省南京市仙林大道科*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种配向掩膜板对位的检测方法，包括：一曝光机台、设置于该机台上一光侦测器、与所述光侦测器相连接的一报警器、一玻璃基板以及一掩膜板；该掩膜板包括透光区与非透光区；检测方法为：将所述的光侦测器设置于所述掩膜板的非透光区在所述曝光机台上的投影区域；曝光机台将所述掩膜板与所述玻璃基板对位，并进行UV2A曝光制程；若所述掩膜板发生位移，所述光侦测器将接收到UV光；将信号传给曝光机台的报警器，报警器报警；机台停止工作；掩膜板与玻璃基板重新调整对位。通过本发明的检测方法，在曝光扫描的过程中，不仅可确保UV2A掩膜板对位的精准度；发生位移时，也可及时停止曝光机台工作，避免产线上大量的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 对位 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种光配向掩膜板对位的检测方法，包括：一曝光机台、设置于该机台上一光侦测器、与所述光侦测器相连接的一报警器、一玻璃基板以及一掩膜板；该掩膜板包括透光区与非透光区；检测方法如下：将所述的光侦测器设置于所述掩膜板的非透光区在所述曝光机台上的投影区域；曝光机台将所述掩膜板与所述玻璃基板对位，并进行UV2A曝光制程；若所述掩膜板发生位移，所述光侦测器将接收到UV光；当所述光侦测器接收到UV光时，将信号传给曝光机台的报警器，报警器报警；机台停止工作；掩膜板与玻璃基板重新调整对位。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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