[发明专利]应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法

摘要

本发明涉及一种应用于探针测试装置的支撑结构及其制作方法，该支撑结构包括一基板、一薄形化的空间转换板、多个焊球与光阻支撑块。基板具有多个第一内部导电线路。空间转换板具有多个第二内部导电线路。焊球介于基板与空间转换板之间，分别电性连接第一内部导电线路与第二内部导电线路。光阻支撑块介于基板与空间转换板之间，彼此分离地排列，且是通过微影制程所形成。至少其中一该光阻支撑块位于二相邻焊球之间。该制作方法为先提供该基板、该空间转换板、各光阻支撑块及焊球，再利用各焊球将该空间转换板与该基板进行回焊。

主权项

1.一种应用于探针测试装置的支撑结构，其特征在于包括：一基板，具有多个第一内部导电线路；一薄形化的空间转换板，具有多个第二内部导电线路；多个焊球，固定于所述基板与所述空间转换板之间，分别电性连接各所述第一内部导电线路与各所述第二内部导电线路；多个光阻支撑块，介于所述基板与所述空间转换板之间，彼此分离地排列，且各所述光阻支撑块是通过微影制程所形成，其中各所述光阻支撑块至少其中一个位于二个相邻的各所述焊球之间；其中，各所述光阻支撑块面向所述空间转换板或面向所述基板的表面具有至少两种以上尺寸的面积，其中任意两个相邻的各所述光阻支撑块具有一间距，且各所述间距不完全相等。