[发明专利]质谱分析装置用二次电子倍增管

摘要

本发明的目的在于提供一种二次电子倍增管，其可以在不大幅降低可使用时间的情况下，改善二次电子倍增管的离子检测效率，进而使质谱分析装置的灵敏度增加。根据本发明的一实施方式，可提供一种二次电子倍增管，其构成如下。所述二次电子倍增管具备：根据入射的离子而释放二次电子的转换倍增电极、从接受二次电子的第二级到最终级以多级方式构成的多个倍增电极、以及用于在对转换倍增电极施加第一负电压的同时将第一负电压依次分压而施加于第二级以后的各个倍增电极的第一电压施加机构，且该二次电子倍增管利用第二级以后的倍增电极依次倍增所释放的二次电子。其中，该二次电子倍增管具备用于对第二级以后的任意倍增电极施加第二负电压的第二电压施加机构。

主权项

1.一种二次电子倍增管，其以下述方式构成：具备根据入射的离子而释放二次电子的转换倍增电极；从接受所述二次电子的第二级到最终级以多级方式构成的多个倍增电极；以及用于在对所述转换倍增电极施加第一负电压的同时将第一负电压依次分压而施加于第二级以后的各个倍增电极的第一电压施加机构，并利用第二级以后的倍增电极依次倍增所释放的二次电子，其中，该二次电子倍增管具备用于对所述第二级以后的任意倍增电极施加第二负电压的第二电压施加机构；其中施加所述第二负电压的倍增电极为第二级到第五级中的任意倍增电极；以及其中为了使离子/电子转换收获量增加而使所述第一负电压降低。