[发明专利]一种采用蒸散型吸气合金的吸气剂泵

摘要

本发明是一种采用蒸散型吸气合金的吸气剂泵系统，其特征是它包括1)采用蒸散型吸气合金作为有效吸气材料；2)自带吸气合金载体；3)自带激活热源。本发明的优点通过自带壳体解决了某些真空器件无法接受活性金属附着的问题；通过采用蒸散型吸气材料的主材解决了传统吸气剂泵吸收C、O、N等类型的气体效率偏低的问题，并使本系统不需反复激活，一次激活便可释放全部吸气能力；通过自带激活热源解决了部分真空器件无法高频激活吸气剂的问题，通过内部结构的设计增大了有效面积，提高了吸气速率和吸气量；外形尺寸及安装方式灵活。通过本发明，可满足真空领域及气体纯化领域一些器件对吸气剂泵的要求。

主权项

一种采用蒸散型吸气合金的吸气剂泵系统，其特征包括:1) 采用蒸散型吸气合金作为有效吸气材料；2) 自带吸气合金载体；3) 自带激活热源；所述自带吸气合金载体是以自带的壳体或/和叶片作为吸气合金蒸镀的载体。