[发明专利]一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构在审
申请号: | 201410782168.2 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN104695024A | 公开(公告)日: | 2015-06-10 |
发明(设计)人: | 翟慎秋;王珮;滕东晓;其他发明人请求不公开姓名 | 申请(专利权)人: | 山东理工大学 |
主分类号: | C30B30/06 | 分类号: | C30B30/06 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 255086 山东省淄博*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构,属于晶体生长技术领域。主要用来消除机械式摇摆合成炉在使用过程中的冲击与振动缺陷。本发明采用平底双摇摆凸轮机构,分别对称地安装在摇摆合成炉的转轴两侧,通过使两凸轮的安装相位角保持180°,从而推动摇摆合成炉的往复摆动,主要用于熔化态原料的混合均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 摆式 合成 平底 凸轮 摇摆 机构 | ||
【主权项】:
一种用于摇摆式晶料合成炉的平底双凸轮摇摆机构,其特征在于:包括机架(2),安装在机架上的传动轴(1),其上安装两个锥齿轮(3)和(7);安装在机架上的两根凸轮轴(6)和(8),分别安装凸轮(4)和(10)以及锥齿轮(5)和(9);传动轴(1)上的锥齿轮(3)和(7)分别与两个凸轮轴上的锥齿轮(4)和(10)啮合;两个凸轮平底(11)和(12)以合成炉的转轴为中心分别对称地安装在合成炉的下底面;两个凸轮(4)和(10)分别位于两凸轮平底的下面并分别与凸轮平底(12)和(11)接触构成凸轮副。
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