[发明专利]多线切割用槽轮无效
申请号: | 201410763924.7 | 申请日: | 2014-12-11 |
公开(公告)号: | CN104526890A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
发明(设计)人: | 陶莹;高宇;巴音图;邓树军;赵梅玉 | 申请(专利权)人: | 河北同光晶体有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 韩敏 |
地址: | 071051 河北省保定市二环路*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供一种多线切割用槽轮,所述槽轮上的槽为靠近轮心的底边窄,远离轮心的顶边宽的等腰梯形槽;所用切割线为镀镍钢线,所述镀镍钢线线径与所述梯形槽底边宽度的尺寸比大于等于0.85小于等于1.2,所述梯形槽的开槽深度与所用切割线线径的比大于等于1.05。经本发明设计方案得到的槽轮,对于保证碳化硅切割片的表面质量、切割片厚度偏差、切割工艺运行稳定性、提高单块碳化硅晶体的出晶片的数量等有显著效果;另外,可以有效延长槽轮使用寿命,降低批量生产碳化硅晶片过程中的成本。 | ||
搜索关键词: | 切割 用槽轮 | ||
【主权项】:
一种多线切割用槽轮,其特征在于:所述槽轮上的槽为靠近轮心的底边窄,远离轮心的顶边宽的等腰梯形槽;所用切割线为镀镍钢线,所述镀镍钢线线径与所述梯形槽底边宽度的尺寸比大于等于0.85小于等于1.2,所述梯形槽的开槽深度与所用切割线线径的比大于等于1.05。
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