[发明专利]一种高精度微小型空气静压转台

摘要

本发明提供了一种高精度微小型空气静压转台。本发明解决了目前常用的高精度微小型空气静压转台组成零件较多，不易实现特别高的精度要求和动平衡，并且整体系统的体积较大，特别是高度尺寸较大的问题；解决了由通常所采用的降低转台整体高度的方式所造成的低稳定性以及低承受倾覆力矩的能力的问题；解决了转台加工生产过程中需加工多个轴套与轴的工作面所造成生产成本问题。它包括：转台机座、锥形气浮轴套、主轴系统和转台电机。本发明在转台生产过程中所需加工的轴套与轴工作面仅为相应的两个锥面，相比于以往的高精度空气静压转台有所减少，降低了生产成本。具有装配简单、精度保持性好等优点，可用于多种加工形式的精密和超精密加工设备上。

主权项

一种高精度微小型空气静压转台，包括：转台基座（1）、锥形气浮轴套（2）、主轴系统（3）和转台电机（4） ，所述转台基座（1）包括基座（1‑1）、进气阀（1‑2）、编码器盖板（1‑3）和密封环（1‑4）；所述锥形气浮轴套（2）包括节流器（2‑1）和气浮轴套（2‑2）；所述主轴系统（3）包括下锥形气浮主轴（3‑1）、间隙调整垫（3‑2）、上锥形气浮主轴（3‑3）和工作台（3‑4）；所述转台电机（4）包括电机座（4‑1）、电机定子（4‑2）、电机转子（4‑3）、转子锁紧环（4‑4）、电机轴（4‑5）、圆光栅（4‑6）和读数头（4‑7）；其特征在于，所述基座（1‑1）上设有通气孔，进气阀（1‑2）与所述通气孔螺纹连接，基座（1‑1）内部设有两个环形槽，两个环形槽内均安装有密封环（1‑4），编码器盖板（1‑3）与电机座（4‑1）采用螺钉连接；基座（1‑1）顶端用于气浮轴套（2‑2）的轴向定位，气浮轴套（2‑2）的底部通过电机座（4‑1）夹紧，电机座（4‑1）与基座（1‑1）之间采用螺栓连接；所述气浮轴套（2‑2）内部气孔内安装有节流器（2‑1）；所述下锥形气浮主轴（3‑1）、间隙调整垫（3‑2）、上锥形气浮主轴（3‑3）通过螺钉进行连接；电机定子（4‑2）通过紧定螺钉安装在电机座（4‑1）内部，电机轴（4‑5）与工作台（3‑4）通过螺纹连接，电机转子（4‑3）安装在电机轴（4‑5）上且通过转子锁紧环（4‑4）固定，圆光栅（4‑6）与电机轴（4‑5）之间由螺栓连接，读数头（4‑7）通过螺钉安装在电机座（4‑1）上。