[发明专利]一种磁控溅射镀膜真空室温控门及应用方法

摘要

一种磁控溅射镀膜真空室温控门及应用方法，是由温控门、长加热模块、长加热模块正极、长加热模块负极、矩形加热模块、正负极输入输出口、定位器构成；加热的结构及其方法简单，设计科学合理，使用方便、操作容易快捷；确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中，通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度，使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻，电阻率达到2×10‑4Ω/cm、透过率达到90％以上；明显提高ITO薄膜的产品质量，大大提高工作效率，节约生产成本，延长使用寿命2倍以上，节能环保。

主权项

一种磁控溅射镀膜真空室温控门的应用方法，所述磁控溅射镀膜真空室温控门是由温控门(1)、长加热模块(2)、长加热模块正极(2‑2)、长加热模块负极(2‑3)、矩形加热模块(3)、正负极输入输出口(3‑2)、定位器(4)构成；其特征在于：温控门(1)一侧的中部竖向设置长加热模块组，长加热模块组的两侧对称设置一对长加热模块(2)，一对长加热模块(2)与长加热模块组之间对称设置一对矩形加热模块组；所述的长加热模块组由至少两块长加热模块(2)横向并列设置组成，长加热模块(2)上方中部设置长加热模块正极(2‑2)和长加热模块负极(2‑3)；所述的矩形加热模块组由至少四块矩形加热模块(3)竖向并列设置组成，每块矩形加热模块(3)一侧设置正负极输入输出孔(3‑2)，正负极输入输出孔(3‑2)内设置矩形加热模块正极和矩形加热模块负极；所述的每块长加热模块(2)和每块矩形加热模块(3)均通过定位器(4)与温控门(1)固定；所述的每块长加热模块(2)和每块矩形加热模块(3)均为U形加热管内对应设置至少两个S形加热管构成；所述的应用方法为：在连续性真空磁控溅射镀膜设备室内，长加热模块正极(2‑2)和长加热模块负极(2‑3)分别与电源的正负极连接，矩形加热模块(3)一侧的正负极输入输出孔(3‑2)内的矩形加热模块正极和矩形加热模块负极分别与电源的正负极连接，温控门(1)上的每块长加热模块(2)和每块矩形加热模块(3)通电后，电能转换为热能通过加热管向外散热，对悬浮运行中车体上安装的ITO薄膜各部位进行加热，可通过工控机控制每块长加热模块(2)和每块矩形加热模块(3)采用不同的加热温度，对悬浮运行中车体上ITO薄膜的不同部位采用不同的温度进行加热，车体通过连续性真空磁控溅射镀膜设备室后，自然冷却至常温状态，制得ITO薄膜成品的电阻率达到2×10‑4Ω·cm，透过率达到90％以上；所述的长加热模块(2)和矩形加热模块(3)的温度调整范围为50‑400℃，根据ITO薄膜的不同规格，可对温控门(1)上不同位置的长加热模块(2)和矩形加热模块(3)采用不同的加热温度，使ITO薄膜的加热温度一致。