[发明专利]4600nm带通红外滤光敏感元件

摘要

本发明公开了一种4600nm带通红外滤光敏感元件，包括以Si为原材料的基板，以Ge、SiO为第一镀膜层和以Ge、SiO为第二镀膜层，且所述基板设于第一镀膜层与第二镀膜层之间。本发明所得到的一种4600nm带通红外滤光敏感元件，其中心波长4600±40nm，其在医用红外气体检测分析过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度，适合于大范围的推广和使用。该滤光敏感元件的峰值透过率Tp≥70％，带宽=138±20nm，400～5500nm（除通带外），Tavg＜0.1%。

主权项

 一种4600nm带通红外滤光敏感元件，包括以Si为原材料的基板（2），以Ge、SiO为第一镀膜层（1）和以Ge、SiO为第二镀膜层（3），且所述基板（2）设于第一镀膜层（1）与第二镀膜层（3）之间，其特征是所述第一镀膜层（1）由内向外依次排列包含有120nm厚度的Ge层、257nm厚度的SiO层、110nm厚度的Ge层、267nm厚度的SiO层、112nm厚度的Ge层、278nm厚度的SiO层、161nm厚度的Ge层、282nm厚度的SiO层、110nm厚度的Ge层、239nm厚度的SiO层、201nm厚度的Ge层、294nm厚度的SiO层、233nm厚度的Ge层、287nm厚度的SiO层、240nm厚度的Ge层、393nm厚度的SiO层、257nm厚度的Ge层、201nm厚度的SiO层、270nm厚度的Ge层、303nm厚度的SiO层、325nm厚度的Ge层、284nm厚度的SiO层、71nm厚度的Ge层、180nm厚度的SiO层；所述的第二镀膜层（3）由内向外依次排列包含有283nm厚度的Ge层、654nm厚度的SiO层、283nm厚度的Ge层、1308nm厚度的SiO层、283nm厚度的Ge层、654nm厚度的SiO层、283nm厚度的Ge层、654nm厚度的SiO层、283nm厚度的Ge层、654nm厚度的SiO层、566nm厚度的Ge层、602nm厚度的SiO层、259nm厚度的Ge层、150nm厚度的SiO层。