[发明专利]用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF2气体供给装置

摘要

本发明公开了一种用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，基于分路混合原理，将氩氮混合气体分成两路，小气流从支气路带出一定量的XeF₂气体与主气路中的大气流混合后，输送至激光气室，XeF₂气体浓度通过控制支气路气体流量自动调节，主气路和支气路中混合气体的流量将由气体质量流量控制器调节。本发明实现了自动化控制，装置简单方便，同时减小了浪费，提高了实验的效费比，同时有效减少预热时间，使得供气前期的准备时间短，提高了实验效率，并成功用于开放式重频XeF(C-A)蓝绿激光器中。

主权项

用于重频蓝绿激光器的自动化大流量XeF₂气体供给装置，其特征在于：包括主气路单元、支气路单元、XeF₂气体发生器(19)、混合管(20)和用于控制气体流量、开关阀门和加热单元的控制单元；所述的主气路单元包括通过管路和阀门(7)联接的主气源(17)、流量控制器(13)和主气体加热器(15)；所述的支气路单元包括通过管路和阀门(8、9)联接支气源(16)、流量控制器(12)和支气体加热器(14)；所述的XeF₂气体发生器包括存储罐(6)、内加热单元(5)和外加热单元(31)，所述的存储罐(6)内放置的XeF₂晶体(32)，并通过罐盖(35)密封；所述的外加热单元(31)包裹在存储罐(6)的底部和外围，所述的内加热单元(5)为设置在存储罐(6)下部的多根串接的U形盘管，所述U形盘管内置有加热电阻丝，所述的电阻丝与存储罐(6)外部的电源电联接；所述的混合管(20)为二进一出的Y型结构，主气路单元出口和混合管(20)的一个进口通过阀门(11)联通；混合管(20)的另一进口(34)穿过存储罐(6)的上端或罐盖(35)并伸入至存储罐(6)内的底部；所述的支气路单元的出口(33)穿过存储罐(6)的上端或罐盖(35)，并伸入至存储罐(6)内的顶部。