[发明专利]基板清洗装置和使用其清洗基板的方法在审
| 申请号： | 201410719858.3 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN104588351A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 邓海峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 吴大建;刘华联 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及基板清洗装置和使用其清洗基板的方法。该基板清洗装置包括护罩，其包括顶板和从顶板向下延伸的侧壁，设置在护罩内的喷水器。护罩和喷水器的宽度覆盖了基板的宽度，并且侧壁延伸到基板表面附近。在使用根据本发明的基板清洗装置清洗基板时，外界环境中的水滴不会滴落到基板上，从而避免了基板出现蚀刻程度不同的状况，并且由此避免了液晶面板出现不可修复的斑点的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种基板清洗装置，包括：护罩，所述护罩包括顶板和从所述顶板向下延伸的侧壁，设置在所述护罩内的喷水器，其中，所述护罩和所述喷水器的宽度覆盖了所述基板的宽度，并且所述侧壁延伸到所述基板表面附近。
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