[发明专利]弹性表面波滤波器在审
| 申请号： | 201410705282.5 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN104682913A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 丰田祐二 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种弹性表面波滤波器，能够降低在下层布线和上层布线之间产生的寄生电容。弹性表面波滤波器具备压电基板(20)、下层布线(60)、上层布线(70)和层间绝缘膜(80)。下层布线(60)被设置于压电基板(20)上。上层布线(70)与下层布线(60)交叉。上层布线(70)的电位与下层布线(60)的电位不同。层间绝缘膜(80)被设置于下层布线(60)和上层布线(70)之间。在沿着下层布线(60)延伸的方向的剖视观察时，层间绝缘膜(80)具有如下部分，该部分具有上层布线(70)的宽度W1以下的宽度W2。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 表面波 滤波器 | ||
【主权项】：
一种弹性表面波滤波器，具备：压电基板；下层布线，其被设置于所述压电基板上；上层布线，其与所述下层布线交叉、且电位与所述下层布线不同；和层间绝缘膜，其被设置于所述下层布线与所述上层布线之间，在沿着所述下层布线延伸的方向的俯视观察时，所述层间绝缘膜具有如下部分，所述部分具有所述上层布线的宽度以下的宽度。
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