[发明专利]硅基光学脉冲调制器件及应用有效
| 申请号： | 201410693299.3 | 申请日： | 2014-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN104409958B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 张怀金;张锐;于浩海;王继扬 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01S3/11 | 分类号： | H01S3/11 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 许德山 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅基光学脉冲调制器件及应用。将单晶硅加工成硅片，用离子注入的方法注入32S或者同时注入32S与11B，双面抛光，表面镀以对1.3‑1.6μm高透的介质膜或不镀膜。硅基光学脉冲调制器件用于激光器中，泵浦光经过激光增益介质后再通过硅基光学脉冲元件，置于激光增益介质前面的前腔镜作为输入镜与置于硅基光学脉冲元件后面的后腔镜形成谐振腔；可用于对1.3‑1.6μm的激光进行损耗的调节。本发明的脉冲调制器件制作简单、成本低，有利于产品小型化，有利于产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 脉冲调制 器件 应用 | ||
【主权项】：
1.一种硅基光学脉冲调制器件，其特征在于将单晶硅制成的硅片用离子注入法掺杂32S或者同时掺杂32S与11B，双面抛光，表面镀以对1.3‑1.6μm高透的介质膜或表面不镀膜。
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