[发明专利]一种生物神经突触仿生电子器件的制备方法及其产品在审
申请号: | 201410687913.5 | 申请日: | 2014-11-25 |
公开(公告)号: | CN104518088A | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 诸葛飞;潘若冰;曹鸿涛;竺立强;李俊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G06G7/60 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 刘诚午 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种生物神经突触仿生电子器件的制备方法及其产品,制备方法如下:(1)依次在衬底上形成导电层和绝缘层;(2)在所述的绝缘层上形成若干个相互隔离的上电极;(3)使导电层接地,先向各上电极施加第一脉冲,然后再向各上电极施加第二脉冲;(4)对导电层和绝缘层进行刻蚀除去未被上电极覆盖的区域,即得到相互隔离的生物神经突触仿生电子器件。本发明通过对电极/电绝缘薄膜/电极叠层结构进行两步电压处理,改善了绝缘层的微结构及电学性能,使制备的生物神经突触仿生电子器件在模拟生物神经突触功能时,单个突触行为的能耗降低至10–5fJ,从而实现超低能耗操作,有利于突触仿生电子器件的大规模集成。 | ||
搜索关键词: | 一种 生物 神经 突触 仿生 电子器件 制备 方法 及其 产品 | ||
【主权项】:
一种生物神经突触仿生电子器件的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)依次在衬底上形成导电层和绝缘层;(2)在所述的绝缘层上形成若干个相互隔离的上电极;(3)使导电层接地,先向各上电极施加第一脉冲,然后再向各上电极施加第二脉冲;(4)对导电层和绝缘层进行刻蚀除去未被上电极覆盖的区域,即得到相互隔离的生物神经突触仿生电子器件。
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