[发明专利]一种直接生产低羟基石英管的工艺

摘要

本发明公开了一种直接生产低羟基石英管的工艺。向钨坩埚内加料；石英砂在钨坩埚内经过高温熔化；经过高温熔化后的液体，顺着钨坩埚内中心芯棒末端设置的成型器垂直流出钨坩埚的炉口；液体经拉管机拉制的石英管通过氮气供气系统和加热装置内进行第二次降低羟基含量后得到石英管坯品；石英管坯品进入冷却装置，冷却温度在100℃‑160℃内；冷却后的石英管坯品进行切割后得到石英管制品。本发明一次性直接生产低羟基石英管，是省时、省工、节约电能、没有划伤、没有磨伤、不损坏管材、不存在二次污染、降低大量的生产成本、质量稳定、百分之百达到标准和客户要求。

主权项

一种直接生产低羟基石英管的工艺，其特征在于，包括如下步骤：（1）向加料装置内加入石英砂，通入氢气后通过加料装置的多个加料管同时、同等量向钨坩埚内加料；（2）石英砂在钨坩埚内经过高温熔化，温度控制在2000±20℃；（3）经过高温熔化后的液体，顺着钨坩埚内中心芯棒末端设置的成型器垂直流出钨坩埚的炉口，成型器内氮气流量为0.08m3/h，此时，液体经第一次降低羟基含量；（4）经第一次降低羟基含量后的液体，经拉管机拉制的石英管通过氮气供气系统和加热装置进行第二次降低羟基含量后得到石英管坯品，氮气供气系统中氮气流量的控制如下：当石英管产量为每小时30‑35kg且原始羟基含量低于120ppm时，氮气流量为0.1m3/h‑0.12m3/h；当石英管产量为每小时35‑40kg且原始羟基含量高于120ppm时，氮气流量是0.16m3/h‑0.18m3/h；加热装置的加热温度为850‑1050℃；（5）经第二次降低羟基含量后的石英管坯品进入冷却装置，冷却温度在100℃‑160℃内；（6）冷却后的石英管坯品进行切割后得到石英管制品。