[发明专利]一种用于减压扩散系统的尾气处理装置有效
| 申请号： | 201410658151.6 | 申请日： | 2014-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104404625A | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 刘良玉;陈晖;张宝锋;闫海莲;曹骞 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;F27D17/00 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于减压扩散系统的尾气处理装置，其包括用于接收减压扩散系统输出尾气的石英反应管（1），该石英反应管底部设有尾气导出管（2），该尾气导出管（2）经尾气冷凝装置（3）、尾气中和瓶（4）连接用于向外抽取尾气的真空泵（5）。本发明装置通过尾气冷凝装置完成尾气偏磷酸的冷却、气液分离和收集，通过尾气中和瓶对尾气中残余的酸性成分进一步进行中和处理，能够高效、简便的对减压扩散系统的尾气进行处理，一方面可大幅减少了高温腐蚀性尾气对真空泵的影响，提升了真空泵的使用寿命、延长维护周期，另一方面，尾气经过处理后排放更清洁环保。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 减压 扩散 系统 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种用于减压扩散系统的尾气处理装置，其包括用于接收减压扩散系统输出尾气的石英反应管（1），该石英反应管底部设有尾气导出管（2），其特征在于，该尾气导出管（2）与尾气冷凝装置（3）的进气接口（31）相连接，尾气冷凝装置的排气接口（32）与尾气中和瓶（4）的进气接口（41）相连接，尾气中和瓶的排气接口（42）与用于向外抽取尾气的真空泵（5）相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所，未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410658151.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
