[发明专利]清洁基板的设备

摘要

本发明提供一种清洁基板的基板清洁设备。该基板清洁设备包括清洁腔、第一清洁喷嘴、盖构件、气流产生单元以及排气单元。主清洁腔具有清洁空间并包括侧壁，基板在清洁空间中被清洁，第一排气孔限定在侧壁中。第一清洁喷嘴设置在主清洁腔中以喷射第一清洁液。盖构件覆盖主清洁腔并具有其中限定第二排气孔的一侧。气流产生单元通过第一排气孔将空气供给到清洁空间中。排气单元被联接到盖构件的该一侧以通过第二排气孔抽吸并排放供给到清洁空间的空气。

主权项

一种清洁基板的基板清洁设备，所述基板清洁设备包括：主清洁腔，具有清洁空间，所述基板在所述清洁空间中被清洁，所述主清洁腔包括其中限定第一排气孔的侧壁；至少一个第一清洁喷嘴，设置在所述主清洁腔中以喷射第一清洁液；覆盖所述主清洁腔的盖构件，所述盖构件具有其中限定第二排气孔的一侧；气流产生单元，通过所述第一排气孔将空气供给到所述清洁空间中；以及排气单元，联接到所述盖构件的所述一侧以通过所述第二排气孔抽吸并排放供给到所述清洁空间的空气。