[发明专利]冷阱有效
| 申请号： | 201410633193.4 | 申请日： | 2014-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN104667565A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 谷津贵裕 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B01D8/00 | 分类号： | B01D8/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 温旭;郝传鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种冷阱，其课题在于抑制排气流路的传导率的下降，并且提高冷阱的排气速度。本发明的冷阱(10)配设于真空容器(12)与涡轮分子泵(14)之间。冷阱(10)具备冷板(24)及在排气流路(18)中包围冷板(24)的冷板容器(26)。冷板(24)在冷板容器(26)的外部具备扩张板(34)。扩张板(34)配置于真空容器(12)内。 | ||
| 搜索关键词： | 冷阱 | ||
【主权项】：
一种冷阱，配设于真空容器与用于该真空容器的真空泵之间，所述冷阱的特征在于，具备：冷板；及冷板容器，在排气流路中包围所述冷板，所述排气流路从所述真空容器的排气口延伸至所述真空泵的吸气口，所述冷板在所述冷板容器的外部具备扩张部分，所述扩张部分配置于所述真空容器内。
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