[发明专利]表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备在审
申请号: | 201410616565.2 | 申请日: | 2011-08-24 |
公开(公告)号: | CN104506159A | 公开(公告)日: | 2015-04-08 |
发明(设计)人: | 大胁卓弥;山中国人 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/25 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供表面声波器件、表面声波振荡器以及电子设备,它们能够实现良好的频率温度特性。表面声波器件的特征在于,具有石英基板(30)和激励出阻带上端模式的表面声波的IDT(12),石英基板(30)的欧拉角为 | ||
搜索关键词: | 表面 声波 器件 振荡器 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
一种表面声波器件,其特征在于,该表面声波器件包含:以下三种石英基板中的任意一者:第1石英基板,其欧拉角为第2石英基板,其欧拉角为以及第3石英基板,其欧拉角为以及叉指换能器,其由设置在所述石英基板的主面上的多个电极指构成,激励出阻带上端模式的表面声波,俯视时,在所述石英基板的位于所述电极指之间的部分处设有电极指间槽,在设所述表面声波的波长为λ,所述叉指换能器的线占有率为η,所述电极指间槽的深度为G时,满足如下关系:0.01λ≤G≤0.094λ-2.5×Gλ+0.675≤η≤-2.5×Gλ+0.775]]>在设所述电极指的膜厚为H时,满足如下关系:0<H≤0.035λ。
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