[发明专利]位置控制方法、曝光方法及曝光装置、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201410601494.9 | 申请日： | 2005-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN104360582B | 公开（公告）日： | 2017-06-16 |
| 发明（设计）人： | 安田雅彦;杉原太郎 | 申请（专利权）人： | 尼康股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 能管理位置测量用标记未存在的移动体的位置。将以可拆装方式搭载既定形状的板件(50)的移动体(WST)的位置，以供界定其移动座标系统的测量装置(18等)来测量，并以对准系统(ALG)检测板件(50)的一部分，根据其检测结果与对应的该测量装置的测量结果，来取得板件(50)外周边缘的位置资讯。据此，即使于该移动体(WST)上位置测量用的标记(基准标记)等未存在，仍可根据板件外周边缘的位置资讯，在以该测量装置所界定的移动座标系统上管理板件的位置，亦即移动体的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 控制 方法 曝光 装置 元件 制造 | ||
【主权项】：
一种位置控制方法，是控制载置曝光对象物体的第1载台及能与该第1载台分别独立移动的第2载台的至少一方的位置，其特征在于包含：一边监视该第1载台的位置，一边用位于该第1载台上方的检测装置检测该第1载台的外周边缘的一部分，由此取得该第1载台的该外周边缘的位置资讯；以及以避免该外周边缘与该第2载台碰撞的方式，根据该外周边缘的位置资讯来控制该第1载台的位置与该第2载台的位置的至少一方。
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