[发明专利]一种金属结构材料表面纯铝或铝合金涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201410589358.2 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104357840A | 公开（公告）日： | 2015-02-18 |
| 发明（设计）人： | 熊天英;吴杰;王吉强;沈艳芳;崔新宇;毛天亮;李鸣;李茂程;吴敏杰;唐伟东 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C25D11/04;C25D11/18 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 吕敏 |
| 地址： | 110168 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种金属结构材料的表面防护涂层的制备方法，属于半导体零件表面防护领域。首先，机械喷砂，将硬质微粒喷射到材料的表面，形成具有粗糙度的表面；制备纯铝涂层，作为防护涂层的底层；对纯铝涂层进行表面抛光、纹理化处理，形成表面纹理自然、纹路均匀一致；进行阳极氧化处理，在纯铝涂层的表面制备氧化铝薄膜，作为防护涂层的表层；阳极氧化后，在纯铝涂层表面形成A12O3薄膜，作为防护涂层的表层；最后对氧化铝薄膜进行封闭处理。本发明能有效提高材料的耐腐蚀性能，提高大规模集成电路金属零部件的耐蚀性能，减少刻蚀腔及其零部件等在强腐蚀环境下形成的颗粒对半导体晶圆的污染，提高刻蚀腔及其零部件等金属零部件的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属结构 材料 表面 铝合金 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属结构材料的表面防护涂层的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)机械喷砂，其工艺方法是：用高压气流通过喷枪，将硬质微粒喷射到材料的表面，通过高压气流使硬质微粒撞击基体，形成具有粗糙度的表面；(2)制备纯铝涂层，用表面涂覆方法，以99.99wt％的超纯Al粉末为喷涂材料，在金属结构材料表面喷涂一层均匀的纯铝涂层，作为防护涂层的底层；(3)对纯铝涂层进行表面抛光、纹理化处理，形成表面纹理自然、纹路均匀一致，表面粗糙度值Ra在0.3～1.6范围；(4)进行阳极氧化处理，在纯铝涂层的表面制备氧化铝薄膜，作为防护涂层的表层；阳极氧化后，在纯铝涂层表面形成A12O3薄膜，作为防护涂层的表层；最后对氧化铝薄膜进行封闭处理。
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