[发明专利]玻璃衬底上的PLZT电容器在审
| 申请号： | 201410587179.5 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN104576046A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | M·R·费尔查德;R·S·泰勒;C·W·贝尔林;C·W·王;B·马;U·巴拉钱德拉 | 申请（专利权）人： | 德尔福技术有限公司;U芝加哥阿尔贡股份有限公司 |
| 主分类号： | H01G4/12 | 分类号： | H01G4/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 毛力 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了玻璃衬底上的PLZT电容器。一种在玻璃形成的衬底(12)上的锆钛酸镧铅(PLZT)电容器(10)。第一金属化物层被沉积于衬底(12)的顶侧以形成第一电极。由PLZT形成的介电层(20)被沉积于第一金属化物层(14)之上。第二金属化物层(22)被沉积于介电层(20)上以形成第二电极(24)。玻璃衬底(12)是有优势的，因为玻璃和用来形成电容器(10)的退火处理是相容的。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 衬底 plzt 电容器 | ||
【主权项】：
一种电容器(10)，包括：衬底(12)，由玻璃形成；第一金属化物层(14)，被沉积在所述衬底(12)的顶侧以形成第一电极(18)；介电层(20)，由沉积于所述第一金属化物层(14)上的锆钛酸镧铅(PLZT)形成；以及第二金属化物层(22)，被沉积于所述介电层(20)上以形成第二电极(24)。
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