[发明专利]反应腔室的观察窗组件及应用其的反应腔室在审
| 申请号： | 201410583803.4 | 申请日： | 2014-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105629417A | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李冰 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;G02B7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种反应腔室的观察窗组件及应用其的反应腔室，在该反应腔室的腔室壁上设置有观察孔，观察窗组件包括透明玻璃和凹透镜，其中，透明玻璃设置在腔室壁上，且位于与观察孔相对的位置处；凹透镜设置在腔室壁上，且位于与观察孔相对的位置处。本发明提供的反应腔室的观察窗组件，其可以在相同的观察窗面积的条件下，扩大观察窗的视野，从而可以观察到腔室内所需观察的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 观察窗 组件 应用 | ||
【主权项】：
一种反应腔室的观察窗组件，在所述反应腔室的腔室壁上设置有观察孔，所述观察窗组件包括透明玻璃，所述透明玻璃设置在所述腔室壁上，且位于与所述观察孔相对的位置处，其特征在于，所述观察窗组件还包括凹透镜，所述凹透镜设置在所述腔室壁上，且位于与所述观察孔相对的位置处。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410583803.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无电极电磁灯
- 下一篇：一种城市生活信息平台及实现方法
