[发明专利]流体控制装置有效
申请号: | 201410571345.2 | 申请日: | 2012-09-05 |
公开(公告)号: | CN104500374B | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 平田笃彦;安藤祯宪;前田刚伸;儿玉幸治;大森健太 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04;F04B45/047 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 胡晓萍 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种流体控制装置,包括振动板单元、驱动体及可挠板。振动板单元具有振动板、框板及连接部,其中,所述振动板具有第一主面和第二主面,所述框板围住所述振动板的周围,所述连接部将所述振动板与所述框板连接,并将所述振动板弹性支承于所述框板。驱动体设于所述振动板的所述第一主面,并使所述振动板振动。可挠板设有孔,并与所述振动板的所述第二主面相对地固定于所述框板。至少所述振动板的一部分及所述连接部的厚度形成得比所述框板的厚度薄,以使所述振动板的一部分及所述连接部的靠所述可挠板一侧的表面远离所述可挠板。 | ||
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【主权项】:
一种流体控制装置,其特征在于,包括:振动板单元,该振动板单元具有振动板、框板及连接部,其中,所述振动板具有第一主面和第二主面,所述框板以在除了所述连接部之外的部位隔着间隙的方式围住所述振动板的周围,所述连接部将所述振动板与所述框板连接,并将所述振动板弹性支承于所述框板;驱动体,该驱动体设于所述振动板的所述第一主面,并使所述振动板振动;以及可挠板,该可挠板与所述振动板相对地设有第一孔,并与所述振动板的所述第二主面及所述连接部相对地固定于所述框板,在所述可挠板的与所述连接部相对的区域内形成有第二孔。
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