[发明专利]一种基于激光多普勒效应的外差干涉式测振仪

摘要

一种基于激光多普勒效应的外差干涉式测振仪，包括光源组件、干涉光路组件和信号处理组件。光源组件由双频激光光源、偏振分光棱镜、反射镜和起偏器组成；干涉光路组件由非偏振分光棱镜、直角棱镜和安装在被测振动物体上的曲面棱镜组成；信号处理组件用于接收来自干涉光路组件中非偏振分光棱镜发射出的两束干涉光，并将干涉光信号转换成电信号进行处理，得到被测振动物体的振动信息。本发明提供的测振仪，能提高振动测量精度。

主权项

一种基于激光多普勒效应的外差干涉式测振仪，包括光源组件、干涉光路组件和信号处理组件，其特征在于：光源组件由双频激光光源(1)、偏振分光棱镜(2)、反射镜(3)和起偏器(4)组成；所述偏振分光棱镜(2)位于双频激光光源(1)的光路上，将双频激光光源发出的光束分为两束频率不同、振动方向垂直的线偏振光；所述反射镜(3)位于其中一束线偏振光的光路上，用于将该束线偏振光的传播方向调整为与另一束线偏振光的传播方向平行；所述起偏器(4)位于传播方向平行的两束线偏振光的光路上，用于将两束线偏振光的振动方向调整成相同；干涉光路组件由非偏振分光棱镜(5)、直角棱镜(6)和曲面棱镜(7)组成；所述非偏振分光棱镜(5)位于光源组件中的起偏器(4)的光路上，用于将来自起偏器且垂直入射到其表面非中心位置的两束平行线偏振光分成两束反射光和两束透射光，所述反射光为参考光，所述透射光为信号光；所述直角棱镜(6)位于两束参考光的光路上，用于将进入直角棱镜的两束参考光反射回非偏振分光棱镜(5)，并且使非偏振分光棱镜(5)发射出的参考光与直角棱镜反射回非偏振分光棱镜的参考光不共光路；所述曲面棱镜(7)位于两束信号光的光路上，用于将进入曲面棱镜的两束信号光的相对位置对换后再反射回非偏振分光棱镜(5)，并且使非偏振分光棱镜(5)发射出的信号光与从曲面棱镜反射回非偏振分光棱镜的信号光不共光路；在非偏振分光棱镜(5)中，从直角棱镜反射回非偏振分光棱镜的参考光与从曲面棱镜反射回非偏振分光棱镜的信号光发生干涉，形成两束干涉光；信号处理组件用于接收来自干涉光路组件中非偏振分光棱镜(5)发射出的两束干涉光，并将干涉光信号转换成电压信号进行处理，得到被测振动物体的振动信息。